iwaki的液体处理解决方案|半导体产业

在周三,2019年3月3日提交

高纯度计量泵

提供高纯度计量泵,用于工具化学生成和化学浓度管理。作为表面制备再循环泵的领导者,IWAKI的高纯度泵是CMP,蚀刻/条带和铜溶液处理的选择。

MDM系列

Iwaki MDM系列泵
化学转移和混合的特殊高纯度

Iwaki America的原始PFATeflon®和碳化硅的组合使其成为高批量散装化学转移和混合的清晰选择。独立的第三方测试,以及满意的客户列表,使MDM系列成为高纯化化学处理的证明资产。流量速率高达350加仑/分钟,MDM系列可以处理所有的高纯度化学品需求!

下载IWAKI MDM磁力驱动泵手册

Iwaki MDM泵

FF / FF-H系列气动驱动波纹管泵

FF / FF-H系列气动驱动波纹管泵
节能设计

指定FF系列用于中温液体(PVC圆筒类型:5至50˚C; Al圆柱型:5至100˚C。)和FF-H系列设计用于处理各种化学液体从普通温度范围到高温(20至180˚C)。

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iwaki ff / ff-h泵


FA系列 - 气动驱动波纹管泵

Iwaki FA系列泵
用于循环中温液的两种模型

正确的泵为正确的工作。FA系列波纹管泵在低至中温度(5至100°C)的低流量和高流量要求。FA-2E泵用于精确化学递送,用于流速高达0.5gpm(2升/分钟)。

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Iwaki FA泵

FW-H系列 - 气动驱动波纹管泵

FW-H系列泵
强大的波纹管设计,高压性能和长期使用寿命

无论您的应用是否需要高压或高温,FW-H通用温度泵都会满足您的需求!高纯度和特殊的性能是这些泵的设计使命的核心 - 事实上,泵在10,000级洁净室环境中制造。

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iwaki fw-fw-h泵

FS系列 - 气动驱动波纹管泵

iwaki气动波纹管fs
紧凑,全温额定,低成本,空气驱动波纹管泵

Iwaki America的FS是一个紧凑,全温额定,低成本,空气驱动的波纹管泵系列,专为半导体行业,化学产业或再循环而设计。该泵轻松地处理高温氮化物蚀刻和皮兰清蚀刻应用。FS具有智能驱动技术和泄漏感应,对以前的型号显着节省成本,并为2年保修。

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iwaki fs泵

Iwaki FLP60泵

FLP-60W系列 - 低脉动波纹管泵

在不使用单独的阻尼器的情况下减少放电脉动

FLP-60W具有内置的低脉动设计,可消除对脉动阻尼器的需求并降低空气消耗。最佳波纹管运动可以提高压力维持能力,以保持频繁负载变化下的稳定放电容量和压力,尤其是单晶片加工。

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Iwaki FLP泵

CFD化学补充泵

Iwaki CFD化学补充泵
分辨率高达1.0毫升/射击提供更精细的流量调整

与我们现有的模型相比,CFD-1T-B的分辨率大大提高。1ml /射击的最小流量在晶片清洁过程中需要的化学冷凝控制中提供更高的精度。CFD-1T-B总是源于正确的化学量而无需过冲,消除过量的液体浪费。此外,抗虹吸机机制防止了无意的虹吸。

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Iwaki CFD泵


TC-X TTD系列

提供6尺寸,提供各种选项和配件

IWAKI TC-X TTD系列高纯度PTFE气动双膜泵
专门设计用于转移高度腐蚀性化学品,包括洁净室型化学转移过程中的浆料,用于制造电子元件,太阳能电池板以及半导体的制造。新改进的泵设计减少了空气消耗,并采用了新的环路C空气电机,可增加可靠性和延伸零件寿命。辍学体尺寸和足迹。完全螺栓固定和扭矩的泵,内置设计特征可抵抗材料蠕变并减少泄漏随时间形成的可能性。完全非润滑技术。旨在确保低粒子计数并降低了过程中金属离子污染的可能性。100级洁净室制造,包装和双袋。可用于匹配您的应用程序需求的多种连接类型。

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